Sistem de purificare a azotului de înaltă puritate pentru aplicații semiconductoare
Dispozitivul de purificare a azotului prin adiție și dezoxidare a carbonului procesează în continuare 99,9% din azotul extras din mecanismul de generare a azotului, determinând 0,1% din oxigenul din azot să reacționeze chimic cu un dezoxidant de carbon pentru a genera dioxid de carbon și îndepărtând în continuare dioxidul de carbon și vaporii de apă din azot, purificând azotul la peste 99,999%, îmbunătățind calitatea gazului produs, adaptându-se la industriile cu cerințe speciale privind puritatea și calitatea gazului.
Domeniul de aplicare
Potrivit pentru utilizatorii de azot de înaltă puritate, în special pentru materiale magnetice, industria electronică și alte procese care au cerințe stricte privind oxigenul și hidrogenul.
Parametri tehnici
| Model | (Nm³/h) | DN (mm) Intrare/Ieșire Diametru | (kg) Greutatea carbonului dezoxidant | Răcire apă (t/h) | Putere aplicată(kW) | Zona echipamentelor dimensiune(mm) | (HBTDC) Greutate moleculară 13 X sită(kg) | |||
| LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | |||||
| LGBT-130 | HBTDC-130 | ≤30 | DN25 | 130 | 0,2 | 9 | 12 | 2000*1350*2300 | 2500*1350*2300 | 75 |
| LGBT-200 | HBTDC-200 | ≤60 | DN40 | 200 | 0,5 | 18 ani | 22,5 | 2200*1550*2600 | 2700*1550*2600 | 100 |
| LGBT-240 | HBTDC-240 | ≤100 | DN40 | 240 | 0,8 | 24 | 30 | 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
| HBT-380 | HBTDC-380 | ≤150 | DN50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | 2650*1700*3350 | 3150*1700*3350 | 230 |
| HBT-430 | HBTDC-430 | ≤200 | DN50 | 430 | 1,5 | 39 | 48 | 3050*1700*3000 | 3550*1700*3000 | 230 |
| HBT-670 | HBTDC-670 | ≤250 | DN50 | 670 | 1.9 | 45 de ani | 57 | 3250*1800*3100 | 3750*1800*3100 | 260 |
| HBT-720 | HBTDC-720 | ≤300 | DN65 | 720 | 2.2 | 45 de ani | 57 | 3250*2100*3200 | 3750*2100*3200 | 260 |
| HBT-1200 | HBTDC-1200 | ≤400 | DN65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | 3400*2100*3700 | 3900*2100*3700 | 260 |
| LGBT-1440 | HBTDC-1440 | ≤600 | DN65 | 1440 | 4.4 | 75 | 90 | 3800*2950*3800 | 4300*2950*3800 | 380 |
| HBT-2400 | HBTDC-2400 | ≤1000 | DN65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | 5350*2950*4000 | 5850*2950*4000 | 380 |
| Notă: Datele de mai sus se bazează pe o presiune a aerului de alimentare de 0,8 Mpa(G), o temperatură ambiantă de 20 ℃, o altitudine de 0 m și o umiditate relativă de 80% ca bază de proiectare. Nota 2: Puterea este calculată pe baza debitului. Puterea din tabel este determinată în funcție de debit la o puritate de 39%. | ||||||||||
