
Purificator/sistem de purificare/generator de gaz de puritate ultra-înaltă
Domenii de aplicare: semiconductori electronici, circuite integrate la scară largă, MAMS, siliciu monocristalin, siliciu policristalin și epitaxie de siliciu, LED, TFT, nitrură de galiu, carbură de siliciu, cercetare și dezvoltare științifică, analiză experimentală etc.
Caracteristici
● Două turnuri de regenerare prin adsorbție alternativă, funcționare continuă automată. | ![]() |
Parametrii tabelului
Modele de serie | Pentru gaz | Indicele gazului brut | Indicele de gaz al produsului | |||||||||||
N2 | H2 | THE2 | Cu | El | THE2 | H2THE | CO2 | CO | CH4 | H2 | N2 | Granularitate | ||
9VV | ● | ● | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | — | 0,003 mm. |
9OVV | ● | — | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | 0,003 mm. |
9VVX | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | 0,003 mm. |
— | ● | — | — | — | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | 0,003 mm. | ||
9X | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | 0,003 mm. |
— | ● | — | — | — | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | 0,003 mm. | ||
Notă: Specificații comune ale fluxului:1-20000Nm3/h;Presiune utilizată în mod obișnuit:1-20Mpa |